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          报道

          导 语

          传感器技术是信息技术的三大支柱之一,是实现物联网和智能控制的关键技术。传感器技术发展到近代,出现了具备信息处理能力的智能传感器,它对外界信息具有一定检测、自诊断、数据处理以及自适应能力。随着5G万物互联时代的到来,智能传感器的产业前景十分广阔。根据Markets and Markets报告,全球智能传感器市场规模将从2020年的366亿美元达到2025年的876亿美元,年均复合增长率19.0% 。而融合了微机电和控制技术的MEMS传感器,是当前传感器的主流。

          常见MEMS传感器

          MEMS压力传感器

          MEMS压力传感器是最广泛使用的MEMS产品之一,它是一种薄膜元件,受到压力时变形。根据工作原理可以分为压阻式、电容式、光学、谐振传感器以及其他类型等,其中最常用的是压阻传感器和电容传感器。MEMS压力传感器可以感知的压力范围很宽,从微压、低压、中压到高温高压。目前已经广泛用于微型机电系统、汽车、航空动力学、工艺控制和生物医学等方面。

          MEMS惯性(组合)传感器

          MEMS惯性(组合)传感器又称惯性测量单元(Inertial Measurement Unit,简称IMU),通常包含速度传感器(即加速计)、角速度传感器(即陀螺仪)、磁感应传感器(即磁力计),应用范围非常广泛,从军事防御、机器人、船舶、飞机和无人机、结构监测、可重复使用航天运载器和微型卫星,到监测建筑物状态、监测风力发电厂、太阳能发电厂、高压线路、水坝、管道等,再到智能手机、工业自动化、自动/无人驾驶汽车、智能家居等。

          射频(RF)MEMS

          射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的重要应用领域之一,也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。射频RF(Radio Frequency)MEMS器件主要有:移相器、滤波器、波束天线等,可广泛应用于雷达、手机、无线人机交互设备、导航、微纳卫星等。

          MEMS麦克风

          MEMS麦克风具有耐热、抗震、灵敏度与信噪比高,且易于集成麦克风阵列提高通话质量。MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域有广泛的应用。随着人工智能技术的快速崛起,可穿戴智能设备、无人驾驶、智能家居等物联网领域将成为MEMS麦克风的新兴市场。

          MEMS光学传感器

          光学与微机电技术的结合又叫微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System,MOEMS),是MEMS技术的一个重要分支。从光学系统工作原理角度区分MOEMS,有反射式、透射式、衍射式、干涉式以及波导等。MOMES中的微光学元件在微电子和微机械装置的操控下实现对光束进行汇聚、衍射、反射、相位调制等控制,从而可实现光开关、衰减、扫描、成像和探测等功能。此类的一个应用热门是非制冷红外热成像和探测器,其在军事和商用领域具有非常广泛的应用。

          MEMS气体传感器

          气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息转换成可以被人和机器读懂的信息装置。常用的包括有:半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器、固体电解质气体传感器等类型。气体传感器广泛应用于工业、生活的各个领域,如石油、化工、钢铁、冶金、矿山、环保、市政、医疗、食品等诸多领域。

          MEMS浅析 MEMS浅析

          国外知名MEMS厂商

          国内知名MEMS厂商

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